單晶矽超聲（shēng）波清洗機

2020年（nián）02月13日
單晶矽超聲（shēng）波清洗機是（shì）一種用於清洗（xǐ）晶矽（guī）片等精密物件的清洗設備，從晶棒上切割下來的（de）單晶矽片（piàn）經（jīng）過倒角、雙麵研磨（mó）、拋光（guāng）等工序加工後，其表麵會附（fù）著各種汙（wū）染（rǎn）物。隨著集成電路（lù）對矽片質量要求越來越高，對矽片表麵的汙染物有（yǒu）著極其嚴格的要求和控製。如果單晶矽片沒有清（qīng）洗幹（gàn）淨則會嚴重影響器件的質量和成品率，清洗也成為單晶矽片製造（zào）過程中重要的步驟。

單晶（jīng）矽超聲波清洗機是通過超聲波振動在液體中形成微（wēi）小的氣泡，這些氣泡由於超聲波空化作用快速地破（pò）裂而產生微小（xiǎo）的擦洗從而出去單晶矽片表麵的汙染物。超聲波清洗技術在半導體行業中已經是（shì）一種廣泛（fàn）應用到的清洗方式（shì），它具有清洗效果（guǒ）好、操（cāo）作簡單等優勢。在單晶矽片的製作過程（chéng）中大部（bù）分步驟為清洗工藝（yì），在清洗矽片中應正確的使用（yòng）單晶矽（guī）片超（chāo）聲波清洗機，單晶矽片的（de）潔淨度對半導體器件的（de）性能起著至關重要的作用。

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